國立清華大學1955年在新竹復校後，1958年梅貽琦校長向美國HVEC訂購范氏加速器(KN)。自1958年起，原子科學研究所分設核子物理、核子化學、核子工程等三組。同年范氏加速器實驗室成立，當時范氏加速器實驗室隸屬於原子科學研究所核子物理組。1965年成立物理學系、隔年將原子科學研究所核子物理組改制成為物理所碩士班(1966)，同年加速器實驗室改屬於物理所，實驗室當年坐落在舊物理館(1990年拆除改建為綜合化工館)，由物理所(系)負責運轉及使用達32年。經當時范氏加速器實驗室負責人物理系劉遠中教授及加速器用戶之提議，配合將來研究方向，擴大服務及更新設備(串級加速器)，1990年11月經校方同意後建議學校將范氏加速器納入原科中心並成立加速器實驗室(1991年1月)。加速器實驗室成立後於1995年將范氏加速器搬遷至現址(加速器館，舊科學儀器館)，在遷址後的同年三月加入一串級加速器(9SDH-2)正式運轉。500kV離子佈植機於1999年由他校搬遷移至加速器實驗室，於2000年復機後開始運轉。 2017年年底轉移中研院物理所除役同型NEC 9SDH-2 加速器至實驗室，以期增加研究能量。
實驗站:
拉賽福背向散射 Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS 1990
粒子誘發Ｘ射線 Particle Induced X-Ray Emission, PIXE 1991
彈性回跳量測 Elasitc Recoiled Detection, ERD 1993
低能量離子佈植 Low Energy Implantation Station 1996
重離子溝道效應 Heavy Ion Bcakscattering with Channeling 1998
核反應分析 Nuclear Reaction Analysis for Hydrogen 2004
三射束照射站 Triple Beam Irradiation Station 2005
細胞照射站 Cell Irraidation (2010/2012)
新聞：
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